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事業紹介

機械装置類のリユース・機器装置類の廃棄のため、廃棄物処理のノウハウを生かし、機械装置に付着した不純物を、ハイテクと手作業を組み合わせた洗浄技術で取り除き、安全・確実な品質を提供いたします。
宝栄産業では、他社に先駆けいち早く各種半導体装置および各種ポンプの製品・部品の洗浄を開始しました。精密機器洗浄技術については、お客様の高い評価を得ています。

洗浄対象品

■ 真空装置部品再生無害化洗浄

  • ● スパッタリング装置
  • ● CVD装置
  • ● エッチング装置
  • ● イオン注入装置
  • ● 蒸着装置
  • ● 有機EL装置
  • ● MBE装置

■ 無害化洗浄

  • ● 油回転真空ポンプ
  • ● 計測機
  • ● 各種ドライポンプ
  • ● ロボット
  • ● メカニカルブースターポンプ
  • ● ターボ分子ポンプ
  • ● 石英ガラス
  • ● クライオポンプ
  • ● 拡散ポンプ
  • ● ダイアフラム真空ポンプ
  • ● 真空バルブ
  • ● 配管も含めた廃棄系

洗浄事例

■ セミコンダクタ系

洗浄工程 アルカリ系洗浄剤+超音波(加温)
材質 銅+Niメッキ 付着物 黒化処理

洗浄前

洗浄後

洗浄工程 アルカリ系洗浄剤+GBB処理
材質 SUS304 付着物 フッ化カリウム、セレン

洗浄前

洗浄後

洗浄工程 アルカリ系洗浄剤塗布→酸系洗浄剤洗浄
材質 アルミ合金+Niメッキ 付着物 多種多様

洗浄前

洗浄後

■ 油回転系

油回転真空ポンプ
鉄部品

洗浄前

洗浄後

油回転真空ポンプ
ステンレス配管

洗浄前

洗浄後

業務フロー

■ 洗浄・無害化処理工程

油回転ポンプの洗浄処理方法【特許工法(B2)平3-49634】

洗浄・無害化処理工程