精密機器・半導体装置洗浄関連事業
事業案内
機械装置類のリユース・機器装置類の廃棄のため、廃棄物処理のノウハウを生かし、機械装置に付着した不純物を、ハイテクと手作業を組み合わせた洗浄技術で取り除き、安全・確実な品質を提供いたします。
宝栄産業では、他社に先駆けいち早く各種半導体装置および各種ポンプの製品・部品の洗浄を開始しました。精密機器洗浄技術については、お客様の高い評価を得ています。
真空装置部品再生無害化洗浄
- スパッタリング装置
- CVD装置
- エッチング装置
- イオン注入装置
- 蒸着装置
- 有機EL装置
- MBE装置
無害化洗浄
- 油回転真空ポンプ
- 計測機器
- 各種ドライポンプ
- メカニカルブースターポンプ
- ターボ分子ポンプ
- 石英ガラス
- クライオポンプ
- 拡散ポンプ
- ダイアフラム真空ポンプ
- 真空バルブ
- 排気系配管類
洗浄事例
セミコンダクタ系
| 洗浄工程 | アルカリ系洗浄剤＋超音波（加温） | ||
|---|---|---|---|
| 材質 | 銅＋Niメッキ | 付着物 | 黒化処理 |
 洗浄前 |  洗浄後 | ||
| 洗浄工程 | アルカリ系洗浄剤＋GBB処理 | ||
|---|---|---|---|
| 材質 | SUS304 | 付着物 | フッ化カリウム、セレン |
 洗浄前 |  洗浄後 | ||
| 洗浄工程 | アルカリ系洗浄剤塗布→酸系洗浄剤洗浄 | ||
|---|---|---|---|
| 材質 | アルミ合金+Niメッキ | 付着物 | 多種多様 |
 洗浄前 |  洗浄後 | ||
油回転系
| 油回転真空ポンプ | |||
|---|---|---|---|
| 鉄部品 | |||
 洗浄前 |  洗浄後 | ||
| 油回転真空ポンプ | |||
|---|---|---|---|
| ステンレス配管 | |||
 洗浄前 |  洗浄後 | ||
業務フロー
洗浄・無害化処理工程
油回転ポンプの洗浄処理方法【特許工法（B2）平3-49634】
